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    潔凈工程車間怎樣控制污染

    2016-10-17 09:43:50   作者:admin  出處:科瓦特

      在顯示器生產中,潔凈工程車間環(huán)境污染控制的好壞決定了顯示器生產效率的高低。顯示器的整個生產過程都必須在受控環(huán)境要求中進行,中山科瓦特凈化工程公司告訴大家:大部分的顯示器都在10萬級潔凈工程車間中生產。隨著高科技的發(fā)展需求,有些顯示器必須在高精度的潔凈工程環(huán)境下生產。?其污染控制難度的相應變大,需采用適合的分析產率和塵粒產生的方法。廠家并不總是分析塵粒的組成,他們往往通過查看玻璃面板的生產過程來查找、分析塵粒產生的根本原因。

    潔凈工程車間怎樣控制污染

      進入潔凈工程車間的人員必須要穿潔凈服,別外每周要進行清洗,包裝前需測試塵粒度,然后才能投入使用。所用的消耗品,包括抹布、拖把、過濾器等在進車間前需滅菌并雙層包裝。潔凈工程車間的工作人員每六個月需經再次培訓以加強工作技能。

      為了更好地控制污染,在潔凈車間,需定期監(jiān)控,保證環(huán)境的潔凈度和工具的運轉正常。系統性清潔衛(wèi)生和定期檢修可以幫助降低潔凈車間的塵粒度。在潔凈車間 地監(jiān)控在線塵粒的方法就是使用一塊作證的面板,這塊面板是一塊帶金屬層的玻璃襯底。將這塊面板放在潔凈車間的內移動,可以監(jiān)控不同區(qū)域的塵粒。如果塵粒大量增多,就需進行分析,解決問題。

      污染物可能對工藝過程和器件產生下列影響:器件工藝良品率。在一個污染環(huán)境中制成的器件會引起多種問題。污染會改變器件的尺寸,改變表面的潔凈度,并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生產的過程中,有一系列的質量檢驗和檢測,他們是為檢測出被污染的晶片而特殊設計的。高度的污染使得僅有少量的晶片能夠完成全工藝過程,從而導致成本升高。

      器件性能。一個更為嚴重的問題是在工藝過程中漏檢的小的污染。晶片看起來是干凈的,但其中未能檢測出來的顆粒、不需要的化學物質和高濃度的可移動離子污染物,可能會改變器件的電性能。這個問題通常是在芯片切割時的電測試中顯現出來。

      器件可靠性。最令人擔心的莫過于污染對器件可靠性的失效影響。小劑量的污染物可能會在工藝過程中進入晶片,而未被通常的器件測試檢驗出來。然而,這些污染物會在器件內部移動,最終停留在電性敏感區(qū)域,從而引起器件失效,因此潔凈工程行業(yè)的環(huán)境要求與發(fā)展會逐漸成為高科技行業(yè)關注的目標,

      隨著顯示器行業(yè)和市場的發(fā)展,對顯示器品質的要求也越來越高。品質控制工具逐漸成為廠家管理生產的方法。同時,顯示器行業(yè)的標準化也是未來發(fā)展的一個趨勢,這無疑把潔凈工程建設推向了一個更高的平臺。

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