中國電子工程設(shè)計院  秦學(xué)禮

　　摘要

　　隨著IC生產(chǎn)工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,對于無塵車間生產(chǎn)環(huán)境及其它配套系統(tǒng)要求也相應(yīng)更為嚴(yán)格,本文81"、12",IC生產(chǎn)的無塵車間設(shè)計中有關(guān)無塵車間形式和送風(fēng)方式、空氣處理及溫濕度保證措施,懸浮分子污染物(AMC)的控制,以及無塵車間排煙等方面的設(shè)計方案,進(jìn)行了多方案的綜合分析和評價。

　　引言

　　集成電路(IC)是集多種高新技術(shù)于一體的高科技產(chǎn)品，它幾乎存在于所有工業(yè)部門，對國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展起著“倍增器”的作用，因此被 國家作為戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。同時IC產(chǎn)業(yè)也是當(dāng)今世界上發(fā)展最為迅速、競爭最為激烈的產(chǎn)業(yè)。由于下游產(chǎn)品的需要以及生產(chǎn)成本的考慮，IC不斷朝著特征尺寸縮小，硅片直徑增大的方向發(fā)展。目前 上以8”、0.25-0.18微米為代表的工藝已進(jìn)入大生產(chǎn)，以12”、0.15-0.13微米為代表的工藝也開始進(jìn)入大生產(chǎn)，研究工作已進(jìn)入納米階段，70納米、40納米的器件已在實(shí)驗室中制備成功。

　　隨著工藝牛產(chǎn)技術(shù)的不斷發(fā)展，IC生產(chǎn)對于環(huán)境及其他配套系統(tǒng)的要求也相應(yīng)越來越嚴(yán)格，說到環(huán)境首當(dāng)其沖的是無塵車間，8”、12”IC生產(chǎn)無論對潔凈度、溫濕度還是空氣中分子級污染物(AMC)、防微振、防靜電等都有極嚴(yán)格的要求，有些苛刻的要求甚至使某些傳統(tǒng)的做法受到挑戰(zhàn)。

　　1、無塵車間形式

　　1.1無塵車間從平面布置劃分一般有三種形式：即開放式(ballroomtype)、港灣式(baycliasetype)、島形布置（islandtype），如圖1、2、3。

　　以上三種形式無塵車間各有其優(yōu)缺點(diǎn),IC前工序生產(chǎn)廠通常采用港灣式和開放式無塵車間，港灣式無塵車間在5”、6”IC生產(chǎn)廠用得較多，其工藝設(shè)備為穿墻式：而8”、12”IC生產(chǎn)廠則普遍采用開放式無塵車間加微環(huán)境(mini-environment)的方式。開放式無塵車間顯著的優(yōu)點(diǎn)首先是對工藝布置帶來最大的靈活性，這尤為重要，因為當(dāng)今[C生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展極為迅速，不論產(chǎn)品本身要求還是工藝生產(chǎn)過程和生產(chǎn)設(shè)備都處在不斷變化中，而IC生產(chǎn)工廠的建設(shè)周期從開始設(shè)計到安裝工藝設(shè)備通常需要一年半左右的時間，在這段時間內(nèi)丁藝生產(chǎn)技術(shù)以及工藝沒備需要不斷的調(diào)整和更新，只有

　　這樣才可以保證投產(chǎn)時其生產(chǎn)技術(shù)小會處于落后的窘地，即使投產(chǎn)以后，也會因產(chǎn)品、市場及生產(chǎn)技術(shù)等因素的變化而需要對生產(chǎn)線進(jìn)行改造以調(diào)整產(chǎn)品和產(chǎn)能。其次8”、12”IC生產(chǎn)對環(huán)境尤其是潔凈度耍求極為嚴(yán)格，通常硅片暴露區(qū)（加工過程）要求1.5級（209E，O.lμm，1級）．采用開放式無塵車間加微環(huán)境方式再配套自動物料處理系統(tǒng)automatedmaterialhandlingsystem.AMHS)，一方面口可以使操作人員和其他污染源與硅片完全隔離，另一方面生產(chǎn)自動化程度的提高對提高硅片成品率極為有利。開放式無塵車間加微環(huán)境方式，工藝生產(chǎn)只要求微環(huán)境內(nèi)有很嚴(yán)格的潔凈度，而開放式無塵車間只需保證5-6級，這樣嚴(yán)格要求的潔凈度區(qū)域大大減少，保證潔凈度所需的循環(huán)空氣量也相應(yīng)減少，能耗大大降低，通常情況下開放式無塵車間加微環(huán)境方式其維持潔凈度所需的能耗大約僅為港灣式無塵車間的1/3[]。實(shí)際工程中微環(huán)境是由設(shè)備自帶的和開放式無塵車間完全脫開，再加上開放式無塵車間本身結(jié)構(gòu)簡單，動力設(shè)備減少，這樣無論從設(shè)計到建造都變得簡單快捷，可以縮短建造時間。

　　采用開放式無塵車間加微環(huán)境方式，確保硅片加工過程所需的潔凈度的關(guān)鍵區(qū)域是微環(huán)境，微環(huán)境通常如圖4、圖5所示。

　　圖4所示的微環(huán)境的送風(fēng)是由無塵車間送風(fēng)系統(tǒng)提供，其缺點(diǎn)是不靈活，移動或增加工藝設(shè)備不方便。目前8”、12”IC生產(chǎn)線所用的微環(huán)境基本上是圖5的形式（光刻機(jī)除外），微環(huán)境全部由工藝設(shè)備自帶，與工藝設(shè)備緊密結(jié)合在一起，并且與裝載臺、前開口傳遞盒(frontopeningunifiedpods．FOUP)、吊掛傳輸系統(tǒng)(ovcerheadhoisttransport，OHT)有機(jī)結(jié)合。微環(huán)境系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)直接吸室內(nèi)的空氣，經(jīng)ULP過濾器處理后垂直下吹，以保證硅片暴露區(qū)嚴(yán)格的潔凈度要求。微環(huán)境內(nèi)的送風(fēng)斷面風(fēng)速通常保持在0.2-0.45m/s，并保證過濾器出口斷面上任意一點(diǎn)的風(fēng)速不超過平均風(fēng)速的±20%，過高的風(fēng)速會使微環(huán)境的溫度偏高。微環(huán)境的風(fēng)機(jī)應(yīng)為變頻風(fēng)機(jī)以適應(yīng)過濾器的阻力變化，所用過濾器的效率≥99.99995%(MPPS)。為避免周圍“臟”空氣滲入微環(huán)境，微環(huán)境相對于周圍環(huán)境（開放式無塵車間）應(yīng)保持不低于1.25Pa的正壓，這可以通過調(diào)節(jié)底部的回風(fēng)閥門實(shí)現(xiàn)。8”、12”IC生產(chǎn)對防微振要求極高，而微環(huán)境所用的風(fēng)機(jī)緊靠生產(chǎn)設(shè)備，所以風(fēng)機(jī)與設(shè)備問應(yīng)設(shè)有效減振措施，并且風(fēng)機(jī)本身產(chǎn)生的振動在3-100Hz頻段內(nèi)任意一個頻率點(diǎn)的振動位移幅值≤1.25μm。

　　1.2、無塵車間從送風(fēng)系統(tǒng)方式劃分一般也有三種形式：即集中送風(fēng)系統(tǒng)(centralsystem)、隧道系統(tǒng)(tunnelsysterm、FFU系統(tǒng)(fanfilterunitsystem)，如圖6、7、8。

這三種送風(fēng)系統(tǒng)各有特點(diǎn)，從不同的角度比較會得出不同的結(jié)論，所以不能簡單地說孰優(yōu)孰劣，送風(fēng)系統(tǒng)方式的采用主要取決于業(yè)主、設(shè)計人員的關(guān)注點(diǎn)側(cè)重于哪些方面。不過FFU系統(tǒng)近幾年來得到越來越廣泛的使用，尤其是在亞太地區(qū)。國內(nèi)也不例外，已建的和在建的8”、12”IC生產(chǎn)廠房幾乎都采用FFU系統(tǒng)，很多5”、6”IC生產(chǎn)廠房近幾年也采用FFU系統(tǒng)。究其原因，除了習(xí)慣、經(jīng)驗等非技術(shù)性因素之外，不外乎有以下幾個原因：

　　a)靈活性：在三種系統(tǒng)中，F(xiàn)FU系統(tǒng)的靈活性是 的，這點(diǎn)特別適應(yīng)當(dāng)今IC生產(chǎn)技術(shù)飛速發(fā)展的要求，由于隨著產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的發(fā)展?jié)崈舳鹊燃壭枨笠矔粩鄧?yán)格。隧道系統(tǒng)幾乎談不上靈活性，且隧道系統(tǒng)是以操作區(qū)作為送風(fēng)、設(shè)備區(qū)作為回風(fēng)的空氣循環(huán)系統(tǒng)，但8”、12”IC廠房無塵車間日前基本上都采用Ballroom方式，，f：分操作區(qū)和設(shè)備區(qū)，因此隧道系統(tǒng)也就不適用J；集中送風(fēng)系統(tǒng)有一定的靈活性，但潔凈系統(tǒng)改造時必須停機(jī)、停產(chǎn)。如果要提高局部區(qū)域的潔凈度，除了無塵車間頂部要增加HEPA/ULPA過濾器外，還需增設(shè)循環(huán)機(jī)組，從而使改造難度大，而且對生產(chǎn)有較大影響；采用FFU系統(tǒng)，局部增加FFU臺數(shù)或移動FFU位置均很容易實(shí)現(xiàn)，而且可以在不停產(chǎn)的情況下進(jìn)行，對生產(chǎn)幾乎沒有影響。

　　b)調(diào)控性：和集中式送風(fēng)系統(tǒng)相比，F(xiàn)FU系統(tǒng)各區(qū)空氣交叉的情況相對要少，可以實(shí)現(xiàn)較高精度的溫濕度控制。隨著電機(jī)與網(wǎng)絡(luò)控制技術(shù)的發(fā)展，F(xiàn)FU很容易實(shí)現(xiàn)單臺控制，每臺FFU出風(fēng)速度在一定范圍內(nèi)幾乎可以任意調(diào)節(jié)，這樣就很容易解決大跨度無塵車間遠(yuǎn)近端氣流不均勻的問題。另外FFU還可以根據(jù)實(shí)際使用需要停開或少開啟一部分。

　　c)可靠性：采用集中送風(fēng)系統(tǒng)只要一臺送風(fēng)機(jī)組出現(xiàn)故障，整個系統(tǒng)的潔凈度就得不到保證，除非有備用機(jī)組能立即投入運(yùn)行；對于隧道系統(tǒng)一旦某一臺循環(huán)機(jī)組停止運(yùn)行，該循環(huán)機(jī)組所負(fù)擔(dān)的潔凈區(qū)域的潔凈度、溫濕度就無法保證，生產(chǎn)也只好停止；而FFU系統(tǒng)這方面的風(fēng)險相對要小得多，即使有一臺FFU出現(xiàn)故障，其影響面很小另外隨著網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)的發(fā)展，F(xiàn)FU系統(tǒng)因數(shù)量多而造成維護(hù)不便的情況也已得到改善。

　　d)氣密性與空間利用：FFU系統(tǒng)由于風(fēng)機(jī)直接設(shè)在工作區(qū)上方，因此工作區(qū)相對于回風(fēng)道及上靜壓箱為正壓，工作區(qū)以外污染物極少因泄漏進(jìn)入上作區(qū)：相反的，集中送風(fēng)系統(tǒng)和隧道系統(tǒng)工作區(qū)相對于上靜壓箱為較大的負(fù)壓，因此泄漏的風(fēng)險性比FFU系統(tǒng)要高得多。另外采用集中送風(fēng)系統(tǒng)及隧道系統(tǒng)，上靜壓箱與周圍環(huán)境的壓差很大，極易發(fā)生空氣泄漏，因此對上靜壓箱的氣密性要求很高，基本上不允許管線進(jìn)人。而FFU系統(tǒng)的上靜壓箱相對于周圍環(huán)境只是微正壓，上靜壓箱內(nèi)可以布置或穿越諸如排風(fēng)和排煙等管道，使空間得到合理利用。

　　e)能耗問題：一些統(tǒng)計資料表明，在IC廠房中，維持生產(chǎn)環(huán)境潔凈度的空氣循環(huán)過濾系統(tǒng)是除工藝設(shè)備外的耗能最大的系統(tǒng)，所以采用何種送風(fēng)系統(tǒng)其能耗也是必須考慮的因素。大型軸流風(fēng)機(jī)的全壓效率理想上可達(dá)80%，電機(jī)效率一般可達(dá)90%，則用電效率是兩者的乘積72%，如果考慮消音器對風(fēng)壓造成的損失，使風(fēng)機(jī)全壓效率降至70%，則用電效率也隨之降到63%（假設(shè)電機(jī)效率不變）；8”、12”IC廠房無塵車間中的FFU通常采用直流無刷電機(jī)，效率也可達(dá)到90%[2]，通常用電效率在50%左右。所以在 的運(yùn)行狀態(tài)下，大型軸流風(fēng)機(jī)的單機(jī)用電效率高于小型FFU應(yīng)該是沒有什么疑問的。但實(shí)際工程情況又怎樣呢？由于直流無刷電機(jī)可以在相當(dāng)大的運(yùn)行范圍里保持高效率出力，而大型軸流風(fēng)機(jī)在變頻運(yùn)轉(zhuǎn)后電機(jī)效率會急劇下降，但潔凈系統(tǒng)中HEPA/ULPA的阻力是不斷變化的，且初、終阻力相差較大，所以在相當(dāng)長的時間內(nèi)風(fēng)機(jī)是在非設(shè)計狀態(tài)運(yùn)行，從這方面考慮FFU系統(tǒng)又會具有一定優(yōu)勢。所以對集中送風(fēng)系統(tǒng)和FFU系統(tǒng)的能源效率比較，很難做出明確的結(jié)論，應(yīng)視具體工程項目的產(chǎn)品生產(chǎn)情況、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其設(shè)備配置情況等確定。

　　2、空氣處理及溫濕度保證

　　8”、12”IC生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小，所以對溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為±0.3～±0.5℃，相對濕度精度為±2%～±3%。該類廠房無塵車間一般采用新風(fēng)集中處理加FFU系統(tǒng)，在下夾層或上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。無塵車間內(nèi)的相

　　對濕度由新風(fēng)機(jī)組保證，溫度由干表冷器保證。

　　2.1、新風(fēng)處理及相對濕度保證

　　新風(fēng)處理機(jī)組的功能段如圖9所示，新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)置初、中、高效三級過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設(shè)高效過濾器很有必要可以延長無塵車間頂部FFU內(nèi)ULPA過濾器的使用壽命；

　　設(shè)置化學(xué)過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體，根據(jù)工廠所在地的室外空氣品質(zhì)設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過濾器，化學(xué)過濾器后通常需設(shè)中效過濾器以去除化學(xué)過濾器本身的產(chǎn)塵；通過設(shè)在新風(fēng)處理機(jī)組內(nèi)的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風(fēng)處理機(jī)組出口的干球溫度及露點(diǎn)溫度全年基本恒定，而機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度還應(yīng)根據(jù)其對應(yīng)送風(fēng)區(qū)域內(nèi)的相對濕度進(jìn)行連續(xù)的重新整定，以保證室內(nèi)的相對濕度。這里不以房間內(nèi)的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內(nèi)的相對濕度連續(xù)的重新整定機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度，再由該露點(diǎn)溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制：由于外網(wǎng)蒸汽中含有對IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)，新風(fēng)處理機(jī)組的加濕應(yīng)采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設(shè)在表冷器前，這樣可以使新風(fēng)處理機(jī)組確提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水（一級RO后）代替潔凈蒸汽加濕器，這是一舉兩得的好辦法，因為噴淋純水既可以達(dá)到加濕的目的，又可以去除空氣中對IC牛產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體。新風(fēng)處理機(jī)組還應(yīng)保證無塵車間內(nèi)的正壓，所以新風(fēng)機(jī)組內(nèi)的風(fēng)機(jī)應(yīng)配置變頻裝置，以無塵車間內(nèi)的正壓值控制風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速。新風(fēng)集中處理有諸多優(yōu)點(diǎn)，但在寒冷地區(qū)使用時則特別要注意盤管的防凍問題。另外因8”、12”IC生產(chǎn)對環(huán)境的可靠性有極高的要求，新風(fēng)處理機(jī)組必須設(shè)一臺備用機(jī)組。
 

　　2.2、循環(huán)風(fēng)處理及溫度保證

　　8”、12”IC廠房無塵車間通常采用FFU系統(tǒng)（如圖8），室內(nèi)空氣經(jīng)干表冷器冷卻處理后與新風(fēng)混合，再由設(shè)在房問頂部的FFU加壓、過濾后送入房間。還有一種情況是干表冷器設(shè)在上夾層，空氣處理過程略有不同，其過程為：新風(fēng)和回風(fēng)混合，再經(jīng)千表冷器冷卻，最后由FFU加壓、過濾后送人無塵車間。干表冷器主要是消除無塵車間內(nèi)的顯熱負(fù)荷，根據(jù)無塵車間內(nèi)的溫度控制對應(yīng)區(qū)域的干表冷器以保證房問的溫度。采用該系統(tǒng)應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：

　　a)為得到精確的溫濕度控制，應(yīng)盡量減少Ballroom內(nèi)各區(qū)域之問的氣流交叉，所以各區(qū)域的干表冷器結(jié)構(gòu)形式、空氣側(cè)阻力應(yīng)盡量一致。

　　b)考慮室內(nèi)濕度精度及表冷器空氣側(cè)阻力等因素，應(yīng)確保干表冷器在干工況下工作，干表冷器所用的冷凍水溫度應(yīng)根據(jù)室內(nèi)濕負(fù)荷、室內(nèi)空氣的露點(diǎn)溫度等因素確定，IC廠房工藝生產(chǎn)設(shè)備發(fā)濕量很少，考慮干表冷器所用冷凍水本身的溫度控制精度以及其他的安全余量，實(shí)際工程中一般冷凍水供水溫度比室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度高2～3℃，溫差通常取3～5℃，根據(jù)室內(nèi)溫度控制精度確定。干表冷器所用的冷凍水通常以混水方式或換熱方式得到。

　　c)干表冷器斷面風(fēng)速不宜太高，因為過高的風(fēng)速會使干表冷器空氣側(cè)阻力偏大，而由于房間噪聲要求的限制FFU所能提供的機(jī)外余壓有限，一般為90Pa，考慮其他風(fēng)路阻力，干表冷器的空氣側(cè)阻力通?？刂圃?0Pa左右。

　　3、空氣中分子級污染物(AMC)控制

　　隨著lC生產(chǎn)的飛速發(fā)展，其加工的特征尺寸越來越微細(xì)化，去除空氣中的AMC(airbomemolecularcontamination)問題越來越受到人們關(guān)注， 半導(dǎo)體制造技術(shù)協(xié)會(SEMATECH)及其他機(jī)構(gòu)、組織對IC生產(chǎn)中AMC的危害和允許濃度分別進(jìn)行了分析預(yù)測，表l是SEMATECH所預(yù)測的 半導(dǎo)體發(fā)展進(jìn)程及相應(yīng)的AMC的要求。一些研究結(jié)果表明，空氣中的金屬離子(Na、K、Fe、Cu、Zn等)會破壞絕緣層，使p-n結(jié)漏電；而氮氧化物、二氧化硫、氨、有機(jī)物、臭氧、硼、磷等都會引起電路缺陷。AMC已直接影響到產(chǎn)品的成品率和可靠性，所以應(yīng)加以控制。

　　3.1AMC的來源

　　AMC來源于無塵車間內(nèi)及室外空氣。無塵車間內(nèi)的AMC主要來源于以下幾個方面：工藝牛產(chǎn)使用的各種化學(xué)品，工藝設(shè)備和原材料的氣體釋放，室內(nèi)操作人員以及各種建筑材料等。室外空氣中的AMC多少與IC廠房所在地的空氣質(zhì)量有關(guān)，且地方差異性較大，通常越是工廠集中的工業(yè)區(qū)來自室外的AMC就越嚴(yán)重。

　　3.2AMC的控制

　　減少無塵車間內(nèi)的AMC應(yīng)從以下四個方面進(jìn)行控制：

　　a)控制室內(nèi)產(chǎn)生：工藝生產(chǎn)線本身是AMC最大的產(chǎn)生源，因工藝生產(chǎn)中要使用各種化學(xué)品，這些化學(xué)品或多或少的要散發(fā)到室內(nèi)空氣中形成AMC，所以首先應(yīng)從生產(chǎn)工藝上考慮盡量減少化學(xué)品的使用，另外應(yīng)控制工藝設(shè)備的制作材料、涂料的釋放氣體。無塵車間的各種建筑材料也是AMC的一大來源，建筑材料引起的AMC涉及面較廣，目前通常采取以下措施：盡量采用AMC釋放低的建筑裝修材料、涂料及密封材料，目前常用的建材中聚四氟乙烯、玻璃、不銹鋼、鋁合金、表面經(jīng)烤漆處理的金屬材料、高彈性聚氨脂涂料、環(huán)氧瓷漆等是可以接受的，而環(huán)氧樹脂涂料、硅

　　密封膠、單/雙面密封膠帶、阻燃劑已不適用了；改進(jìn)建筑材料加工工藝，提高加工精度，工程中盡量不用密封膠；潔凈系統(tǒng)中的HEPA/ULPA過濾器應(yīng)采用聚四氟乙烯(PTFE)或低硼低有機(jī)物的玻璃纖維制作，另外目前常用的DOP測試方法以及鈉焰測試也是不能接受的，SEMATECH推薦采用以去離子水霧攜帶的固態(tài)聚苯乙烯(polystyrenelatex，PSL)小球作為測試粒子；系統(tǒng)中的吸音材料盡量不用玻璃纖維，可以用發(fā)泡金屬等材料代替；上靜壓箱用無密封的烤漆板制作；制作風(fēng)管的材料必須脫脂，密封墊用丁基橡膠：無塵車間空間內(nèi)的電纜也應(yīng)采用AMC釋放低的材料制作。

　　b)控制室外侵入：首先無塵車間空間等應(yīng)密閉，使周圍環(huán)境的AMC不滲入無塵車間；其次應(yīng)防止室外空氣中的AMC進(jìn)入無塵車間內(nèi)，為此有兩個方面需要考慮，第一是新風(fēng)人口應(yīng)合理，盡量遠(yuǎn)離排風(fēng)口及其他污染源，另外建廠地點(diǎn)應(yīng)合理。第二是IC廠所在地的室外空氣中如含有對生產(chǎn)工藝敏感的AMC，則在室外空氣送入無塵車間前應(yīng)進(jìn)行可靠的處理，根據(jù)室外空氣中AMC的種類、濃度以及工藝要求在新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過濾器，也可以在新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)淋洗裝置加以去除。

　　c)控制擴(kuò)散：對于生產(chǎn)中必須要使用化學(xué)品的工藝設(shè)備應(yīng)盡量采取密閉措施，并設(shè)置可靠的排風(fēng)，以減少化學(xué)品的散發(fā)。另外合理的氣流組織對防止擴(kuò)散也很重要，潔凈系統(tǒng)設(shè)計時應(yīng)充分考慮減少各區(qū)域的氣流交叉。

　　d)化學(xué)過濾：采取了以上措施雖然可以降低無塵車間內(nèi)的AMC濃度，但不可能完全杜絕AMC的產(chǎn)生，而有些生產(chǎn)工序?qū)MC又比較敏感，雖然潔凈系統(tǒng)中裝有HEPA/ULPA過濾器，該過濾器對于過濾灰塵粒子有效果，但對于AMC幾乎不起作用，所以有些生產(chǎn)區(qū)域還應(yīng)設(shè)置化學(xué)過濾器，以去除無塵車間內(nèi)的AMC。通常做法是在FFU的HFPA/ULPA過濾器與風(fēng)機(jī)之間增設(shè)化學(xué)過濾器，針對區(qū)域一般是勻膠、顯影區(qū)以及CVD區(qū)。

　　4、無塵車間排煙問題

　　“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”(GB50073_200l)[3]對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機(jī)械排煙要求，但塒于無塵車間沒有明確規(guī)定一定要設(shè)機(jī)械排煙，實(shí)際工程中各地消防部門對于IC廠房無塵車間是否設(shè)排煙的問題上要求也不一致；但8”、12”IC生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會將整個廠房進(jìn)行投保，由于IC生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體，保險商一般均要求無塵車間設(shè)置機(jī)械排煙措施，否則增加保費(fèi)。所以在8”、12”IC工程中，無塵車間機(jī)械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。IC廠房無塵車間國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。

　　4.1下排煙方式

　　下排煙一般是在無塵車間回風(fēng)下夾層或回風(fēng)豎井內(nèi)設(shè)置排煙口，當(dāng)無塵車間或無塵車間下夾層發(fā)生火災(zāi)時，則打開排煙口，開啟排煙風(fēng)機(jī)進(jìn)行排煙，此時新風(fēng)機(jī)組繼續(xù)運(yùn)行，往無塵車間上夾層內(nèi)補(bǔ)充新風(fēng)，并通過必要的閥門切換使上夾層與無塵車間和下夾層隔開，上夾層內(nèi)新風(fēng)由FFU送入室內(nèi)。采用下排煙必須有以下條件，即無塵車間發(fā)生火災(zāi)時，無塵車間頂部FFU下吹的斷面風(fēng)速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會在無塵車間頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25～0.5m/s．而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會大于0.5m/S[4]，所以下排煙方式只是在無塵車間發(fā)生小火災(zāi)時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些IC廠房中得到應(yīng)用，但國內(nèi)工程中用得較少。

　　4.2上排煙方式

　　上排煙是在無塵車間吊頂上設(shè)置排煙口，通過排煙風(fēng)管將各排煙口連接至排煙風(fēng)機(jī)，當(dāng)無塵車間發(fā)生火災(zāi)時，打開排煙口，開啟排煙風(fēng)機(jī)進(jìn)行排煙，排煙時新風(fēng)機(jī)組繼續(xù)運(yùn)行，向回風(fēng)豎井內(nèi)補(bǔ)風(fēng)．上排煙方式無塵車間內(nèi)煙氣上升氣流和排煙氣流方向一致，排煙效果比較理想，目前在工程中得到廣泛的應(yīng)用。但采用上排煙方式實(shí)際工程中通常會出現(xiàn)以下兩個問題，第一個問題是排煙口的布置，在非單向流無塵車間中比較好解決，由于頂部的FFU沒有滿布，只需在盲板處設(shè)排煙口即可；而單向流無塵車間由于頂部滿布FFU，且IC廠房的無塵車間跨度都很大，只在側(cè)面布置排煙口又

　　不能滿足要求，所以不可避免會出現(xiàn)的要在滿布FFU的無塵車間吊頂上設(shè)置排煙口，據(jù)了解目前已有一些制造公司開發(fā)出FFU和排煙口結(jié)合在一起的產(chǎn)品，使這問題得以解決。第二個問題是排煙分區(qū)問題，目前8”、12”lC生產(chǎn)廠房無塵車間基本上

　　都采用Ballroom方式，潔凈面積達(dá)l萬多平方米的無塵車間幾乎沒有分隔，而工藝生產(chǎn)又都采用自動物料處理系統(tǒng)(AMHS)，各生產(chǎn)區(qū)域頂部都設(shè)有縱橫交錯的吊掛傳輸系統(tǒng)(OHT)，劃分排煙分區(qū)確實(shí)比較困難，實(shí)際工程中經(jīng)常將整個Ballroom視為一個區(qū)，這又會面臨排煙量極大的問題，為減少排煙系統(tǒng)風(fēng)量，在某些工程中將工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)兼作排煙，但排風(fēng)系統(tǒng)的管道、配件及設(shè)備應(yīng)滿足排煙要求。

　　5、結(jié)語

　　目前8”、12”IC產(chǎn)業(yè)住中國大陸的發(fā)展只是剛剛起步，由于該產(chǎn)業(yè)符合新型工業(yè)化的要求，LE得到國家和地J政府的大力支持，預(yù)計住未來的幾年內(nèi)將會得到快速的發(fā)展，而8”、12”IC生產(chǎn)對無塵車間空氣潔凈度等各項指標(biāo)有極嚴(yán)格的要求，無塵車間又是能耗大戶，所以設(shè)計該類廠房無塵車間時應(yīng)進(jìn)行多方案比較，在滿足工藝生產(chǎn)要求的前提下，綜合考慮可靠性、靈活性、安全性、能源效率、初投資等因素進(jìn)行設(shè)計。

　　參考文獻(xiàn)

　　l高砂熱學(xué)公司有關(guān)資料

　　2曹芳海，鄭名山等風(fēng)機(jī)一濾網(wǎng)機(jī)蛆技術(shù)與無塵室氣流過濾循環(huán)節(jié)能探討CRA.2001.No.5

　　3國家標(biāo)準(zhǔn)．《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范>.GB50073-2001

　　4黃雅慧.無塵車間火災(zāi)煙流控制技求介紹．2000.03.30

　　5陳霖新等編著.潔凈廠房設(shè)計與施工．化工出版社，2002

　　6W.WHYTF.CleanroomDesign.SecondEdition.JohnWitey＆SonsLtd.1999