恒濕恒濕無(wú)塵車(chē)間案例解析
科瓦特長(zhǎng)期服務(wù)于電子行業(yè)的潔凈室,無(wú)塵車(chē)間建設(shè)中,現(xiàn)對(duì)LED芯片的生產(chǎn)車(chē)間要不要
做恒溫恒濕無(wú)塵車(chē)間,具體工藝怎么樣?無(wú)塵車(chē)間的溫濕度,潔凈度等具體要求又是多少
進(jìn)行實(shí)際解析:
LED芯片的制造工藝流程
LED芯片的制造工藝流程: 外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→
平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光
刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。
具體要不要做無(wú)塵車(chē)間決取于你在以上LED芯片的上游還是下游,具體的生產(chǎn)工藝包括哪些?像
我們科瓦特給**LED芯片客戶無(wú)塵車(chē)間工藝?yán)锩嬗泻附踊蛘咤a膏或者有光刻曝光工藝的都會(huì)受溫濕
度影響的,因?yàn)闇囟葧?huì)影響錫膏的活性,對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。
溫度高會(huì)增加其的活性,最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊,焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。
濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少,如過(guò)吸如過(guò)多水氣,會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空,飛漸,
連焊等現(xiàn)象。
科瓦特工程部在給客戶大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱
膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必
須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半
導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上
會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
根據(jù)我們中山科瓦特多年總結(jié)的經(jīng)驗(yàn)得出
LED芯片(MOCVD,外延)
LED封裝封裝-應(yīng)用
前者LED芯片外延潔凈車(chē)間特點(diǎn):
大排風(fēng)、特氣二次配
后者LED封裝封裝潔凈車(chē)間特點(diǎn):
防靜電、加濕、調(diào)膠-隧道爐-烤箱排風(fēng)、
其中做LED應(yīng)用(LAMP)的普遍要求低
回望當(dāng)年我們給客戶****做LED裝封潔凈廠房,惠州,珠三角廣州,深圳每年一期潔凈室,每期潔凈室
最少兩層樓,每期潔凈室均會(huì)要求要恒溫恒濕空調(diào)。
慶幸LED行業(yè)又到蓬勃發(fā)展時(shí)期,中山科瓦特凈化工程有限公司將竭誠(chéng)為新老客戶提供力所能及的服
務(wù):LED芯片-封裝-應(yīng)用潔凈室規(guī)劃、施工、節(jié)能改造。
LED屬于電子行業(yè)除了生產(chǎn)之外還需要對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行試驗(yàn),根據(jù)國(guó)家GB 2423.11-1982標(biāo)準(zhǔn),電工電
子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗(yàn)規(guī)程對(duì)其試驗(yàn)環(huán)境是有嚴(yán)格要求的.
以下由于篇幅有限只列出國(guó)家有關(guān)電子行業(yè)最標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試環(huán)境:
通常包括:預(yù)處理(必要時(shí));初始檢測(cè)(必要時(shí));條件試驗(yàn);中間檢測(cè);恢復(fù)(必要時(shí));
最后檢測(cè)。
(1)基準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 指溫度為20°C,氣壓為101.3kPa(1013mbar)時(shí)的大氣條件。
(2)仲裁試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 一種統(tǒng)一規(guī)定的測(cè)試用標(biāo)準(zhǔn)大氣條件。
(3)試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件 溫度:15--35 相對(duì)濕度:45--75% 氣壓:86--106kPa
(4)恢復(fù)條件
a.無(wú)特殊規(guī)定時(shí)為在試驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下恢復(fù)。
b.如對(duì)溫度條件的變化十分敏感,則應(yīng)在控制恢復(fù)條件下恢復(fù). 溫度:實(shí)驗(yàn)室溫度±2°C,但不超過(guò)15--
35°C的范圍。 相對(duì)濕度為72%--78%,氣壓:86--106kPa
科瓦特主營(yíng)產(chǎn)品或服務(wù):
1、潔凈車(chē)間、潔凈廠房、凈化車(chē)間、凈化廠房、無(wú)塵室、凈化工程、潔凈工程、潔凈手術(shù)室、層流手
術(shù)室、無(wú)塵廠房等潔凈室工程凈化設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試、維護(hù)保養(yǎng)等;
2、100級(jí)到1000萬(wàn)級(jí)別的潔凈手術(shù)室、無(wú)塵無(wú)菌室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室,整體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備工程,食品車(chē)間凈化
工程,LED顯示屏無(wú)塵車(chē)間,化妝品無(wú)塵室等;
3、企業(yè)、醫(yī)院、酒店、工廠、商場(chǎng)、辦公大樓空調(diào)工程,水電、配管、電力、機(jī)電設(shè)備工程;
4、彩鋼板工程,各種防塵、抗靜電環(huán)氧樹(shù)脂地坪、防靜電PVC地板工程;
5、線路板、背光源、模組、印刷潔凈廠房恒溫恒濕工程;中央空調(diào)工程,冷庫(kù)熱水工程,凈化工程。
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